kla scan原理
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KLA Corporation
https://www.scientech.com.tw
此機台是利用鑽石所製作的尖頭探針去掃描物體的表面，以得到表面輪廓的資訊。 在探針掃描的運動軌跡橫過物體表面，並利用一導體感測器記錄了針尖的垂直運動變化，經由針尖運動產生訊號，可以顯示待測物體的二維表面輪廓。
KLA
https://www.kla.com
這是獨特的寬頻電漿成像檢測系. 統與單波⾧長雷射掃描系統之間主要的產品差異。其他關鍵屬性如 NanoPoint、⾼高階偵測演算法以及可變光圈. 等，則可改善靈敏度和及時缺陷 ...
光學+電子束新一代晶圓檢測系統讓缺陷無所遁形
https://www.eettaiwan.com
針對先進的3D NAND、DRAM和邏輯積體電路(IC)檢測需求，KLA不久前發佈了最新的392x和295x光學缺陷檢測系統和eDR7380電子束缺陷檢視系統。392x和295x ...
KLA的半導體檢測帝國
https://www.redef.tech
KLA創造半導體檢測帝國的關鍵：打造並輸出頂尖運營模式. 從KLA的故事可以看出，在1997年KLA和Tencor合併其互補的產品線後，KLA的視野提升了一個檔次。之後KLA便以累積的 ...
缺陷检测与复检
https://www.kla.com
有图案和无图案晶圆缺陷检测和复检系统能发现、识别晶圆前后表面和边缘上的颗粒与图案缺陷，同时对这些颗粒和缺陷进行分类。该信息将帮助工程师发现、解决并监控关键的良率 ...
2万字长文：从KLA看量测设备的护城河
https://m.huxiu.com
其原理为通过聚焦电子束对圆片表面进行扫描，接受反射回来的二次电子和背散射电子，进而将其转换成对应的圆片表面形貌的灰度图像。通过比对圆片上不同芯片 ...
Accelerated Yield Ramp via Optimized CV
https://www.tsia.org.tw
KLA-Tencor 2800 檢測系統使用一種時間延遲積分(TDI) 感應器，將晶圓放在感應器的下面進行掃描的時候探測缺陷的反射光影像，這讓系統對各類缺陷都具有非常高的敏感性。
表面輪廓儀應用：接觸式與光學優缺比較，提供最完善解決方案
https://www.scientech.com.tw
KLA是製程控管與良率管理解決方案的領先提供商它與全球客戶合作開發先進的檢測與度量 ... 此儀器是利用白光干涉的光學原理來掃描物體的表面，以得到表面輪廓的資訊。
面板檢測與量測
https://www.kla.com
面板檢測與量測. KLA 用於印刷電路板製造環境的製程控制解決方案組合，包括適用於先進缺陷檢測的自動光學檢查(AOI) 系統，以及適用於3D 與2D 測量的面板量測系統。
KLA的IPRO4量测速度
https://wenku.csdn.net
其原理是利用光学干涉法，通过测量反射光和透射光的相位差来计算薄膜厚度。具体来说，KLA THK量测机台会向待测样品表面发射一束光，这束光会在样品表面 ...